無油真空泵工作原理一種是通過容積變化，在體積大的時候吸入空氣，在體積變小時(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠著活動的機械部件來實現的，要求有很小的間隙并且有很高的精度，比如爪泵。

另一種是依靠非常高的機械動轉速度，將空氣分子定向撞擊而攜帶走，如分子泵。三是低溫泵，在接近絕對零度的冷面上，幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面。

無油真空泵最大的有點是不返油，對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，不污染環境，屬于環保類產品，因此發展前景很好，被稱為二十一世紀“綠色真空泵”。

無油真空泵工作原理一種是通過容積變化，在體積大的時候吸入空氣，在體積變小時(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠著活動的機械部件來實現的，要求有很小的間隙并且有很高的精度，比如爪泵。

另一種是依靠非常高的機械動轉速度，將空氣分子定向撞擊而攜帶走，如分子泵。三是低溫泵，在接近絕對零度的冷面上，幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面。

無油真空泵最大的有點是不返油，對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，不污染環境，屬于環保類產品，因此發展前景很好，被稱為二十一世紀“綠色真空泵”。